成膜・加工装置の検索結果

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設備名 型式 メーカー 保有部局 設置場所 設置地区 管理組織 担当 内線 備考
成膜・加工装置
集束イオン電子ビーム加工装置 FIB-SEM Helios NanoLab 600i FEI 次世代燃料電池産学連携研究センター 次世代燃料電池産学連携研究センター 110室 伊都地区 次世代燃料電池産学連携研究センター 松田潤子 90-6777 -
レーザアブレーション装置(電解質薄膜構造制御・製膜装置) Pulsed Laser Deposition (Excimer) PLAD-247 AOV 次世代燃料電池産学連携研究センター 次世代燃料電池産学連携研究センター 226室 伊都地区 次世代燃料電池産学連携研究センター 伊田進太郎 90-2869 -
レーザアブレーション装置(電解質薄膜構造制御・製膜装置) Pulsed Laser Deposition(YAG) PLAD-148 AOV 次世代燃料電池産学連携研究センター 次世代燃料電池産学連携研究センター 226室 伊都地区 次世代燃料電池産学連携研究センター 伊田進太郎 90-2869 -
設備名 型式 メーカー 保有部局 設置場所 設置地区 管理組織 担当 内線 備考